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合格的晶圆,在林远眼里是越大越好。
大尺寸的晶圆优点很多:生产效率提高、降低成本、资源利用率高,而且设计灵活性也高。
但大尺寸的晶圆缺点和优点一样明显。
尺寸越大技术难度越高,晶圆尺寸越大,单晶硅生长的均匀性要求越高,制造工艺更复杂。
在拉制大尺寸单晶硅棒时,就需要十分精确的控制温度、旋转速度等参数。
稍微有点差池就会导致晶格缺陷;并且离晶圆中心越远,出现坏点的概率越高。
最主要的是生产大规格的晶圆的设备都异常昂贵,维护难度极高。
可如果仅仅是贵就好了,真正的原因是国外是禁止对国内出口的。
无论是韩星还是阿斯麦尔,都是如此。
但林远不信这个邪。
韩星的技术在林远眼里本来就一般;至于阿斯麦尔,更是一个组装厂。
所有核心技术和设备都来自背后的各个公司和集团,阿斯麦尔本身就是这些公司推出来的一个傀儡,不然它也不可能在荷兰这个地方了。
荷兰这个国家,本身就是一个巨大的红灯区。
真指望这些精虫上脑的人去搞高科技,那人类迟早要完。
柴宇青暗地里深吸几口气:“林总,华芯国际背后资本结构复杂,目前还有部分外资没驱逐出去,不太好搞定,我们还在背后出力帮他们解决,估计你要等等。”
“但燕东微电子和魔都微电子没问题,这是我们帝都和魔都两家的国资委投的,你想要东西就是一句话的事。”
“我能问问你们生产芯片是要用来干什么吗?”
林远摇头:“不能,保密条款限制。”
柴宇青不再纠结:“那行,那就祝我们合作愉快,林总可以准备星海未来数据系统有限公司搬迁和工商注册变更事宜了。”
说完就起身和林远握手。
“行,只要我们的目的达成,随时可以变更。”
林远一同起身。
确定合作意向,后续的事情林远就不再跟进了,自然有邱怀安等人去跟进办理。
当天下午,林远没有过多停留直接返回江城。
一回到公司,林远立刻进入实验室。
“怎么样,碳钴氧化物胶的稳定性搞定了吗?”
刚进高分子实验室,他就关切的问道。
实验室负责人摘下口罩,笑着递出一份测试报告。
林远默默看完测试报告,心里的石头终于落地了。
对于林远来说,只要解决了基础光刻机的光学模组镜头和光刻胶,三大核心问题就解决了两个了。
还剩下最后一个光源问题,目前物理实验室已经在攻克了。
光刻胶是在晶圆生产过程中涂抹在硅基底片上的一种合成物。
从最低的线性胶,一直到现在最新的极紫外euv光刻机用的金属氧化物胶,光刻胶一共有六个等级。
从DUV深紫外线光刻机到EUV极紫外线光刻机,所需的光刻胶都在这个范围内。
原则上来说,现在星海未来实验室里研发出来的碳钴氧化物胶也属于第六代的金属氧化物胶的一种。
但林远凭借从系统中学习的知识,再加上稀土元素中钴元素的特性,进行了全新的化学分子组成方式,构造了一种全新的分子组合公式。
现在的碳钴氧化物胶已经很难再说是第六代光刻胶了。
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